从电子自准直仪的内部探测器的发展来讲，大致经历了四个阶段：
第一个阶段是采用带有像电单元的振荡狭缝（Oscillating slit with fotoelectric cell）；
第二个阶段是带有差分电路的二极管（Diodes in difference circuit）；
第三个阶段是采用四像限的二极管（Four-quadrant diode）；
最新的方式是采用CCD线阵（CCD-array）。
当我们选择采用何种方式的电子自准直仪时（或说将不同的电子自准直仪相比时），需要考虑以下几个方面：
是否有大的测量范围；
是否在不同的温度下具有稳定性；
这种技术是否具有长期的可得性（是否在短期会被淘汰，长期的配件供应是否可得）；
是否具有高的光谱敏感性；
在全部测量范围内是否具有高度的线性；
是否具有高的测量频率；
其价格是否合理。
因此，您可以发现CCD线阵与传统的四像限二极管及其它方式相比，除测量频率外在各个方面都具有优势，其不足是它的测量频率（即每秒钟的测量次数）低于模拟测量方式(ELCOMAT系列每秒钟测量约25次)。
我们是精度高至± 0.01″的计量级自准直仪的生产厂家，我们的采用CCD方式的ELCOMAT HR为众多国家做为国家计量基准。
在CCD方式下，为了达到双轴测量的目的，我们需要将X轴及Y 轴区分开来。这样一共有四种方法：
第一种是采用两个光学系统（两个光源、物镜等）；
第二种是采用偏振；
第三种是采用色分（CHROMATIC SEPARATION）；
第四种是采用多路复用（MULTIPLEXING）。
我们的ELCOMAT系列采用了第四种方式，这是因为与其它三种方式相比，多路复用的优势在于：
1、可以使用标准的光学元件；
2、使用高强度的LED（工作寿命极长，本身几乎不产生热量）；
3、发射光束与返回光束的光路相同；
4、具有高灵敏度。